在線式專用氣體過濾器_半導體超純大流量氣體過濾器

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003um。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒，在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

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產品詳情

0F系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒，在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

產品特點

1，整體316L不銹鋼結構

2，適合高溫應用

3，超高顆粒攔截率

4，高流量、高強度、穩定可靠

5，適用于多種工藝氣體

6，可選其它點位在線安裝，方便快捷

7，100%完整性測試

8，100%氨氣檢漏測試

產品參數

濾芯材質	316L不銹鋼粉末燒結		殼體材質	316L不銹鋼
最大進氣壓力	207bar		最大工作壓差	5.2bar
氦氣驗證泄漏率	2x10^-10cc/min		氦氣測試泄露率	1x10^-10cc/min
表面處理	外表面	Ra < 1.6μm	最高使用溫度	惰性氣體	400-500°C
	內表面	Ra < 0.2μm		腐蝕性氣體，反應氣體	50°C
顆粒攔截效率	≧99.9999999%(9LRV)@30slpm		下游潔凈度	≧0.03particles/liter @>0.01um，30slpm
顆粒攔截粒徑	≧0.003μm