恒歌在線式大宗氣體系統(tǒng)過濾器專為半導體工藝氣體凈化設計，憑借卓越的過濾性能、可靠的結構設計與嚴格的質(zhì)量管控，成為半導體行業(yè)去除工藝氣體中顆粒的優(yōu)選設備，為半導體生產(chǎn)過程中的氣體潔凈度提供優(yōu)質(zhì)保障，助力提升半導體產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)穩(wěn)定性。

產(chǎn)品特點

1. 潔凈環(huán)境制造，奠定穩(wěn)定工藝基礎

過濾器全程在潔凈室環(huán)境下完成制造，從生產(chǎn)到組裝的每一個環(huán)節(jié)都嚴格控制粉塵、雜質(zhì)污染，確保產(chǎn)品本身具備潔凈、穩(wěn)定的工藝表現(xiàn)，避免因設備自身污染影響半導體工藝氣體純度，從源頭保障下游生產(chǎn)環(huán)節(jié)的氣體潔凈需求。

2. 優(yōu)質(zhì)材質(zhì)選用，耐受嚴苛工況

外殼材質(zhì)：采用316L 不銹鋼打造外殼，具備出色的耐腐蝕性與高強度特性，可承受高壓工況，適配半導體行業(yè)中多種工藝氣體的輸送與過濾需求，有效避免外殼因腐蝕或高壓損壞導致的氣體泄漏問題。

產(chǎn)品性能

1. 超高顆粒截留率，確保氣體潔凈度

過濾器在30slpm 流量下，對3nm 及以上顆粒的截留率高達 99.9999999% ，能深度去除半導體工藝氣體中的微小顆粒，避免顆粒雜質(zhì)影響芯片制程，為半導體生產(chǎn)提供超高潔凈度的工藝氣體，保障晶圓生產(chǎn)質(zhì)量。

2. 優(yōu)異流體性能，降低系統(tǒng)能耗

高流量與低初始壓降：產(chǎn)品具備高流量特性，同時初始壓降低，在保障氣體輸送效率的同時，減少氣體輸送過程中的能耗消耗，降低半導體生產(chǎn)的能源成本。

穩(wěn)定壓差表現(xiàn)：在 23°C(73°F)工況下，最大正向壓差可達 4 bar(60 psig)，最大反向壓差為 0.7 bar(10 psig)，能在不同工況下保持穩(wěn)定的過濾性能，適配半導體生產(chǎn)中多變的工藝需求。

3. 緊湊結構設計，節(jié)省安裝空間

過濾器整體體積小巧、結構緊湊，能有效節(jié)省半導體設備內(nèi)部寶貴的空間資源，同時方便安裝操作，適配半導體廠房設備密集、空間有限的安裝環(huán)境，降低設備布局與安裝難度。

4. 可靠質(zhì)量管控，消除使用隱患

優(yōu)化濾芯設計：濾芯的設計及材料選擇經(jīng)過嚴格優(yōu)化，可有效消除膜片形變和脫落現(xiàn)象，確保下游氣體潔凈度可靠，避免因膜片問題導致的過濾失效，保障半導體生產(chǎn)的連續(xù)性與穩(wěn)定性。

嚴格檢測流程：產(chǎn)品出廠前需經(jīng)過100% 氦氣泄漏檢測，氦氣泄漏率低至 1 x 10?? atm cc/sec，同時還會進行高純氣體吹掃，保證產(chǎn)品下游顆粒潔凈度，確保過濾器在使用過程中無泄漏、無二次污染風險。

產(chǎn)品應用

1. 多密封類型，適配多樣系統(tǒng)

提供VCR 墊片密封和卡套管密封兩種類型，能適配大多數(shù)半導體系統(tǒng)和生產(chǎn)設備的配置，無需額外定制密封配件，降低設備適配成本與難度，提升過濾器的通用性。

2. 豐富應用領域，覆蓋半導體氣體需求

廣泛應用于半導體行業(yè)多種氣體相關場景，包括：

高純壓縮氣體：去除高純壓縮氣體中的顆粒，保障氣體純度;

工藝特種氣體：為各類工藝特種氣體提供過濾純化，滿足特種工藝需求;

氣柜和 VMB(閥門 manifold 箱)：在氣柜和 VMB 中實現(xiàn)氣體過濾，保障氣體輸送過程的潔凈;

有毒氣體：安全過濾有毒氣體中的顆粒，同時避免氣體泄漏，保障生產(chǎn)安全;

二次配管：在二次配管環(huán)節(jié)進行氣體過濾，進一步提升氣體潔凈度，確保下游工藝穩(wěn)定。