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墊片式VCR高純氣體過濾器
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恒歌超高純系統1/4VCR墊片_1/2vcr墊片316L不銹鋼鎳盲墊墊圈

  • 多孔金屬墊片過濾器,保護精密氣體系統的可靠解決方案:(1)這種全金屬過濾器專為半導體氣體分配系統設計,可與 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 標準墊片接口無縫兼容。(2) 墊圈式設計確保安裝簡便,是 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。(3)多孔金屬墊片過濾器可承受高達 400C 的溫度,有效阻止顆粒侵入、保護敏感的氣體元件。(4)通過防止與污染有
  • 產品詳情


多孔金屬墊片過濾器,保護精密氣體系統的可靠解決方案:

(1)這種全金屬過濾器專為半導體氣體分配系統設計,可與 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 標準墊片接口無縫兼容。

(2) 墊圈式設計確保安裝簡便,是 MFC(質量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調節器的重要保護屏障。

(3)多孔金屬墊片過濾器可承受高達 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入、保護敏感的氣體元件。

(4)通過防止與污染有關的泄漏,它可以延長設備的使用壽命并降低維護成本。

(5)該過濾器有低壓和高壓兩種型號,可改裝到現有的管道系統中、為保護精密設備免受污染提供了經濟高效的解決方案。

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規格

技術參數細節
過濾材料燒結316L不銹鋼粉末
外殼/墊國材料316L不銹鋼
表面處理(外部)Ras1.6μm
表面處理(內部)拋光+電解拋光,Ras0.2μm
最高工作溫度4009C
顆粒截留效率≥99.9999999%(9 LRV)@ 100 slpm(基于 MPPS,適用于所有顆粒)
粒徑捕獲20.3μm
兼容尺寸114"、 3/8"和 1/2" VCR 標準墊片接口
應用半導體氣體分配系統、MFC模塊、精密閥門和壓力調節器
可用型號低壓和高壓版本

產品特點

產品特點細節
材料完全由 316L不銹鋼制成
安裝可用作表面密封過濾器,無需切割或焊接管道等額外工作進行安裝
耐用性耐高溫、高壓、耐腐蝕


低壓系列

適用于低壓系統管道

*最大工作壓力0.98Mpa
*流量范圍:0~100slpm

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多孔不銹鋼VCR墊片過濾器的應用

1.半導體制造:

●用于氣體分配系統,以過濾顆粒并保護質量流量控制器 (MFC)、閥門和調節器等敏感元件。

●確?;瘜W氣相沉積(CVD)和蝕刻等工藝中的潔凈氣體供應,防止顆粒污染導致產品缺陷。


2.制藥和生物技術行業:

●非常適合用于關鍵工藝的高純度氣體輸送系統,如藥品生產中的氣體滅菌或氣體混合。

●通過過濾可能影響產品質量的雜質,確保生產中使用的氣體的完整性。


3.航空航天和高科技制造業:

●應用于航空航天領域先進材料、涂層和組件制造所用的精密氣流控制系統。

●可承受極端的溫度和壓力,在苛刻的環境中提供持久的顆粒過濾。


4.化學處理:

●適用于存在高溫、高壓和腐蝕性環境的化工廠供氣管道。

●防止可能破壞化學反應或導致設備故障的微粒污染。


5.實驗室和研究設施

●用于氣相色譜儀、質譜儀或其他敏感分析設備等科學儀器的高精度氣體輸送系統。

●保護精密儀器免受微粒污染,提高精度和使用壽命。


6.高純度氣體分配:

●對于需要超潔凈氣體的系統(如電子制造中使用的系統)至關重要,因為污染物會破壞制造過程。

●316L 不銹鋼結構確保了耐用性和耐化學性,使其適用于惡劣的工作環境。


7.低溫氣體系統:

●適用于低溫氣體輸送系統,在醫療氣體供應或液化氣處理等行業中,過濾掉可能影響低溫工藝性能的顆粒至關重要。


8.石油和天然氣行業:

●用于煉油廠或石化廠的氣體過濾系統,確保清除氣流中的污染物,保護設備免受堵塞或磨損。


產品的主要優點:

*耐高溫和高壓,使過濾器能夠在極端條件下可靠運行。

*316L 不銹鋼耐腐蝕,即使在化學腐蝕性環境中也能確保較長的使用壽命。

*安裝方便,無需額外切割或焊接,易于改裝到現有系統中。


準備好使用高性能的多孔不銹鋼 VCR 片式過濾器來優化您的氣體分配系統了嗎?

今天就聯系恒歌,討論您的具體要求。

我們的專家團隊將根據您的行業需求提供定制的 OEM 解決方案。

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