CVD 化學(xué)氣相沉積供氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體、光伏、精密陶瓷等行業(yè)的核心工藝設(shè)備，通過將反應(yīng)氣體精準(zhǔn)輸送至沉積腔體，在基材表面形成均勻薄膜，其供氣純度直接決定薄膜質(zhì)量與器件性能，是高端制造業(yè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

為何需要使用過濾器？

CVD 工藝對(duì)氣體純度要求極高，哪怕 0.1μm 的微粒雜質(zhì)都可能導(dǎo)致薄膜缺陷、針孔、附著力下降，進(jìn)而造成器件失效；同時(shí)反應(yīng)氣體多為腐蝕性或易燃易爆氣體，過濾器需兼顧凈化效果與安全適配性，是保障 CVD 制程穩(wěn)定的核心部件。

產(chǎn)品介紹

恒歌 TF 系列 CVD 化學(xué)氣相沉積供氣系統(tǒng)專用過濾器，專為半導(dǎo)體級(jí)工藝設(shè)計(jì)，聚焦 UHP 超純氣體凈化需求。采用無死體積結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，避免污染物殘留，316L 不銹鋼全材打造適配腐蝕性反應(yīng)氣體，安裝無需焊接，確保密封無憂，為 CVD 工藝提供純凈氣流保障。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 半導(dǎo)體級(jí)超高顆粒攔截率，對(duì) 0.01μm 微粒攔截效率≥99.999%

? 316L 不銹鋼 + PTFE 密封材質(zhì)，耐溫可達(dá) 200℃，耐高壓≤10MPa

? 低流阻設(shè)計(jì)，確保反應(yīng)氣體輸送穩(wěn)定，不影響沉積工藝參數(shù)

? 適用于潔凈室 Class 1 環(huán)境，制造、測(cè)試、包裝全程無二次污染

? 100% 完整性測(cè)試 + 氨氣檢漏，滿足半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)

? 可提供 F 直通型 / T 型 / W 型一體式結(jié)構(gòu)，適配不同安裝場(chǎng)景

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體芯片薄膜沉積工藝、光伏電池片鍍膜系統(tǒng)、精密陶瓷制備 CVD 設(shè)備、LED 外延片生長供氣系統(tǒng)、集成電路封裝 CVD 工藝

常見問答

Q：能否適配 CVD 常用的硅烷、氨氣等反應(yīng)氣體？

A：完全適配！316L 不銹鋼材質(zhì)耐腐蝕性優(yōu)異，可兼容硅烷、氨氣、氟化氫等絕大多數(shù) CVD 反應(yīng)氣體。

Q：過濾精度是否滿足半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)？

A：滿足！產(chǎn)品符合 SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn)，過濾精度最低可達(dá) 0.003μm，適配 ppb 級(jí)氣體凈化需求。

Q：安裝后會(huì)影響供氣系統(tǒng)的壓力穩(wěn)定性嗎？

A：不會(huì)！低阻力設(shè)計(jì)確保壓力損耗≤0.05MPa，不改變 CVD 工藝的氣體流量與壓力參數(shù)。

Q：是否支持在線更換濾芯？

A：支持部分型號(hào)在線更換，無需拆卸管道，減少停機(jī)時(shí)間，提升生產(chǎn)效率。

選型指引

如果您不確定適配的濾芯材質(zhì)、過濾精度或耐溫耐壓參數(shù)，歡迎聯(lián)系我們，結(jié)合您的 CVD 工藝氣體類型與設(shè)備參數(shù)，提供專業(yè)選型建議！