在半導(dǎo)體高壓工藝氣路中，氣體的凈化與流量控制往往需要分開設(shè)備實現(xiàn)，不僅增加了氣路復(fù)雜度，還可能引入額外的泄漏風(fēng)險。深圳恒歌研發(fā)的高壓雙卡套過濾器直通過濾閥，將 “高壓過濾” 與 “直通控制” 功能集成一體，為半導(dǎo)體高壓氣路提供 “凈化 + ...

?無論是在半導(dǎo)體工藝、新能源氫能，還是制藥、實驗室應(yīng)用中，氣體過濾器都是確保系統(tǒng)穩(wěn)定運行的重要組件。很多工程師或采購人員在選型和使用過程中，會遇到各種問題：過濾精度如何確定?金屬燒結(jié)濾芯能否清洗?過濾器的壽命一般有多久?

恒歌0F系列在線式專用氣體過濾器是專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計的高效過濾設(shè)備。其過濾精度高達(dá)0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保氣體的超高純度。該系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼，結(jié)構(gòu)緊湊、強度高，與多種半導(dǎo)體...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達(dá)0.003μm，...

恒歌納米級高壓氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)量身打造。其采用堅固的 316L 不銹鋼整體結(jié)構(gòu)，設(shè)計壓力達(dá) 50Mpa，重量相對較輕，實現(xiàn)輕量化與小型化，減少安裝空間，通過螺紋連接確保密封性，兼容 C...

直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì)，線型結(jié)構(gòu)緊湊，用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體，以保護(hù)下游流體設(shè)備。最高工作壓力可達(dá)207bar；最高工作溫度204℃；多種過濾精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。廣泛應(yīng)用于實驗室、...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達(dá)0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

?恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮氣等各類高壓氣體，能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì)，確保氣體的純凈度和質(zhì)量，為下游工藝提供可靠的氣體供應(yīng)。

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達(dá)0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

HF系列高壓氣體專用過濾器，用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合，兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的當(dāng)下，工藝精度不斷提升，對高純氣體的潔凈標(biāo)準(zhǔn)提出了前所未有的高要求。恒歌半導(dǎo)體氣體過濾器憑借自主研發(fā)的核心技術(shù)與精細(xì)化制造工藝，打破傳統(tǒng)過濾設(shè)備的性能局限，為半導(dǎo)體制造、光伏及微電子等領(lǐng)域提供穩(wěn)定、高效的氣體凈化保障，...

?在半導(dǎo)體制造的精密世界里，電子氣體是驅(qū)動光刻、刻蝕、氣相沉積等核心制程運轉(zhuǎn)的 “血液”，而氣體純度則是決定晶圓質(zhì)量與成品率的 “生命線”。隨著芯片制程向 7nm、5nm 甚至更先進(jìn)節(jié)點突破，對電子氣體中雜質(zhì)的容忍度已降至極致 —— 哪怕是...