在半導體制造、電子特氣及高純氣體輸送系統中，氣體純度的每一個微小波動，都可能直接影響良率與穩定性。針對高純、高壓、嚴苛工況應用場景，我們推出—不銹鋼高純高壓卡套過濾器，專為半導體工藝氣體凈化而設計，兼顧超高過濾效率、安全可靠性與便捷安裝維護。

一、產品概述

本款不銹鋼高純高壓卡套過濾器采用T型卡套結構設計，適用于UHP/HP級工藝氣體過濾，可有效去除氣體中的亞微米級顆粒污染物，廣泛應用于晶圓制造、芯片封裝、電子特氣輸送及高等級潔凈室系統，是半導體氣體管路中不可或缺的關鍵過濾組件。

二、核心優勢

1?? 全316L不銹鋼一體結構

選用高純316L不銹鋼材質

耐腐蝕、低析出、低吸附

兼容多種電子特氣與工藝氣體

2?? 超高過濾精度，保障UHP氣體純度

過濾精度可達 0.003 μm

顆粒攔截效率 ≥99.9999999%

有效去除氣體中微粒、雜質，降低晶圓缺陷風險

3?? 高通量 · 低壓損設計

優化內部流道結構

在保證過濾效率的同時，顯著降低壓降

適合對流量穩定性要求極高的半導體工藝

4?? 耐高溫 · 耐高壓，適應嚴苛工況

工作溫度范圍：-28℃ ～ 482℃

最大工作壓力：414 bar（6000 psig）

可長期穩定運行于高壓、高溫、高潔凈要求環境

5?? 卡套式連接，安裝更安全

無需焊接，避免焊渣與二次污染風險

卡套對接+螺母緊固，密封可靠

適合潔凈室及在線改造安裝

6?? 全流程質量檢測，使用更安心

100% 完整性測試

100% 氨氣檢漏測試

確保每一只過濾器在交付前均符合半導體級標準

三、典型應用場景

●  半導體制造工藝氣體系統：晶圓制造、擴散、沉積、刻蝕等關鍵工藝

●  電子特氣輸送管路：高純氮氣、氫氣、氬氣等

●  潔凈室氣體系統：制造、測試、封裝及包裝環節

●  科研實驗室 & 檢測機構：對氣體純度要求極高的實驗與測試環境

四、安裝與維護說明

●  安裝方式

●  卡套式連接

●  無需焊接，降低安裝風險

●  適合在線快速部署

●  維護與更換

●  過濾元件可更換設計

●  無需整體拆卸管路

●  降低維護成本與停機時間

五、為什么選擇我們的不銹鋼高純高壓卡套過濾器?

? 深耕半導體氣體過濾領域多年

? 產品設計從“良率、安全、穩定”出發

? 支持非標定制(接口、尺寸、過濾精度)

如果您正在尋找一款真正適用于半導體工藝氣體系統的高純高壓不銹鋼過濾器，歡迎與我們聯系，獲取選型建議與技術支持。

專業的氣體過濾，不只是參數，更是對工藝安全的長期保障。