在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，真空系統(tǒng)氣體過濾器對(duì)于保障工藝的純凈度和穩(wěn)定性至關(guān)重要。恒歌KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能和廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景，成為眾多高科技產(chǎn)業(yè)的首選設(shè)備。

DF系列擴(kuò)散器專用過濾器專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。它結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流，確保氣體的平穩(wěn)流動(dòng)。這種過濾器的過濾精度高達(dá)0.003μm，能夠有效防止氣流吹起...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達(dá)0.003μm，...

MF系列儀器保護(hù)專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...

TF系列工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒，保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便，僅需氣路對(duì)接與螺母緊固，避免焊接風(fēng)險(xiǎn)，確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現(xiàn)卓越微粒過濾效率，...

TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率...

SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實(shí)現(xiàn)0.003um級(jí)高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量，適助力設(shè)備升級(jí)無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊...

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)，過濾精度高達(dá)0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，大宗氣體的高效過濾是確保生產(chǎn)流程順暢和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。特別是在半導(dǎo)體、電子、化工等對(duì)氣體純度要求極高的領(lǐng)域，選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關(guān)重要。恒歌 BF 系列大宗氣體專用過濾器憑借其高通量、低阻力的特性，成為滿足大...

選擇合適的高壓氣體過濾器需綜合考慮氣體性質(zhì)、流量、過濾精度、壓力等多方面因素，以下是具體的選擇方法：

在半導(dǎo)體制造過程中，化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、蝕刻(Etch)、外延生長(Epi)等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)對(duì)氣體純凈度要求極高。過濾器能夠高效捕捉并去除氣體中的塵埃、金屬微粒等雜質(zhì)，確保進(jìn)入工藝區(qū)域的氣體純凈度達(dá)到極高的標(biāo)準(zhǔn)，從...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損，過濾精度高達(dá)0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...