做高純氣體系統的人都知道，很多時候問題并不出在氣源本身，而是出在后面的輸送和過濾環節。

有些現場使用的是99.999%的高純氮氣，理論上純度已經很高，但設備運行一段時間后，還是會出現顆粒異常、MFC波動、腔體污染或者工藝重復性下降的問題。最后往往排查下來，問題集中在氣路系統。

尤其是半導體、電子氣體、氫能、新材料這類行業，對氣體潔凈度要求越來越高?，F在不少企業在做超高壓氮氣、氫氣輸送時，已經不僅僅關注“有沒有過濾器”，而是開始關注過濾器本身的結構、材料以及長期運行穩定性。

這也是為什么，越來越多用戶開始尋找更適合高純工況的超高壓氣體過濾器廠家。

很多高純氣體系統，問題其實出在管路后端

現場比較常見的一種情況是：

前端氣源檢測沒問題，但設備端總會偶爾出現異常顆粒，或者工藝數據波動。

尤其在下面這些工況里更明顯：

●  氣瓶頻繁切換

●  長距離輸送

●  高壓減壓后使用

●  管路死角較多

●  系統長期連續運行

VMB/VMP集中供氣系統

有些項目在前期吹掃時問題不明顯，但設備運行幾個月后，系統里積累的微量顆粒、焊接氧化皮或者閥門摩擦雜質會逐漸暴露出來。

另外，高純氣體系統里還有一個容易被忽略的問題——微量水氧污染。

像H?O、O?、CO、CO?這些雜質，即使只有ppb級，在部分半導體工藝里也會影響良率。

所以現在很多電子級氣體系統，除了做顆粒過濾，還會增加在線高純凈化過濾。

為什么超高壓氫氣過濾更難做?

氫氣工況和普通壓縮空氣過濾不太一樣。

很多常規工業過濾器，在普通氮氣系統里可能沒問題，但換成高壓氫氣后，問題會明顯增多。

原因主要有幾個：

第一是密封要求更高

氫氣分子小，對系統微漏比較敏感。

如果過濾器焊接、密封或者內部結構處理不好，長期運行后更容易出現泄漏風險。

尤其在高壓工況下，對過濾器整體結構穩定性要求會更高。

第二是材料兼容性問題

有些材料在普通氣體環境下沒問題，但在高壓氫氣環境中，長期運行可能出現老化、脆化或者析出風險。

所以目前高純氫氣系統中，316L不銹鋼結構應用會更多一些。

第三是壓降控制

這一點很多用戶現場都碰到過。

有些過濾器標稱精度很高，但系統一上大流量，后端流量明顯下降，甚至影響設備正常供氣。

尤其在電子級氣體系統中，如果過濾器內部流道設計不合理，很容易出現壓損偏大的情況。

所以現在很多高純氣體過濾器，會同時強調：

●  高顆粒攔截效率

●  高通量

●  低阻力

●  長周期穩定運行

半導體氣體過濾系統為什么越來越重視納米級過濾?

這幾年半導體行業對在線氣體過濾的要求明顯提高。

以前很多工藝使用微米級過濾已經夠用，但隨著制程越來越精細，現在不少工藝開始關注納米級顆?？刂?。

像：

●  CVD

●  ALD

●  外延

●  刻蝕

●  光刻

●  特氣輸送系統

這些工藝對顆粒都比較敏感。

有時候系統里并不是“大顆粒”問題，而是納米級微粒長期累積后，對工藝穩定性產生影響。

因此，現在不少電子級氣體過濾器開始采用納米級燒結過濾結構。

尤其在超純氮氣、高純氫氣、氬氣以及部分反應性氣體系統中，納米級在線過濾的應用越來越多。

高純氣體過濾器選型，現場一般會重點看這幾個參數

實際項目里，很多工程師最關注的并不是宣傳參數，而是系統適不適合長期穩定運行。

一般會重點看下面幾個方面。

過濾精度范圍

不同工藝要求差異比較大。

有些工業氣體系統做到1μm已經足夠，但電子級氣體、半導體工藝通常會要求更高。

目前高純氣體過濾器常見范圍包括：

●  納米級過濾

●  0.01μm級過濾

●  微米級顆粒過濾

具體還是要結合氣體潔凈等級和工藝要求。

過濾材料

現在很多高純氣體系統，會優先考慮316L不銹鋼燒結過濾結構。

主要是因為：

●  耐腐蝕

●  耐高壓

●  不容易析出顆粒

●  更適合高純工況

尤其在高壓氫氣和電子特氣系統中，材料穩定性非常重要。

壓力與流量匹配

這一點容易被忽略。

有些過濾器實驗室測試沒問題，但實際大流量運行時壓降明顯增加。

因此現場選型時，通常還會考慮：

●  最大工作壓力

●  峰值流量

●  長周期壓損變化

●  系統穩定性

在線氣體過濾器為什么越來越偏向定制化?

現在很多高純氣體項目，其實很難直接套標準型號。

因為不同現場差異很大。

比如：

●  管路接口不同

●  系統壓力不同

●  氣體種類不同

●  工藝潔凈等級不同

●  安裝空間不同

尤其半導體集中供氣系統里，經常需要根據VMB、VMP或者設備端布局做調整。

所以現在不少企業在選擇高純氣體過濾器廠家時，會更關注有沒有定制能力，而不僅僅是有沒有現貨。

恒歌高純氣體過濾器可應用于哪些場景?

在高純氣體過濾領域，恒歌 目前主要提供不銹鋼燒結類氣體過濾與凈化方案。

其過濾器采用316L不銹鋼結構，可用于：

●  半導體工藝氣體在線過濾

●  高純氮氣過濾

●  高純氫氣過濾

●  電子級氣體凈化

●  惰性氣體過濾

●  反應性氣體過濾

●  集中供氣系統

●  大流量氣體輸送過濾

在過濾精度方面，可配置3納米至100微米不同規格的過濾結構。

部分高純工藝場景，對H?O、O?、CO、CO?以及NMHC等雜質控制要求較高，通常會結合在線凈化過濾方式進行處理。

另外，過濾器本體支持：

●  兩閥結構

●  三閥結構

●  四閥組件

方便適配不同氣路系統。

對于一些高壓、高溫或者耐腐蝕要求較高的工況，316L燒結過濾結構相對也更穩定一些。

選擇超高壓氣體過濾器廠家，不能只看“精度”

現在很多用戶一開始選過濾器，只關注“多少微米”。

但真正到了現場運行階段，會發現：

過濾精度只是其中一個參數。

真正影響系統穩定性的，還包括：

●  材料潔凈度

●  焊接質量

●  壓損控制

●  密封穩定性

●  長期顆粒釋放

●  高壓工況穩定性

特別是半導體、電子特氣、氫能這類行業，過濾器本身已經不僅僅是“攔顆粒”，而是整個高純氣體系統中的一部分。

因此，對于高純氮氣、氫氣過濾項目來說，選擇有實際氣體過濾經驗、能夠做定制化方案的廠家，會更適合長期穩定運行。

如果目前正在做電子級氣體、高純氮氣或者高壓氫氣系統，也可以結合具體工況，對過濾精度、流量、壓力以及材料兼容性做進一步評估，再確定對應的在線氣體過濾方案。

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