目前高純氣體過(guò)濾大多是國(guó)外的供應(yīng)商，國(guó)內(nèi)做的好的廠家不多。看似簡(jiǎn)單，其實(shí)對(duì)工藝和材質(zhì)要求是很高的，對(duì)于耐高溫，耐壓，耐腐蝕，惰性要求之高，可以說(shuō)對(duì)過(guò)濾材料最高要求。

高純氣體過(guò)濾器是一種用于高純氣體(如氮?dú)狻錃?過(guò)濾的裝置。

高純氣體過(guò)濾器用量大，要求很高，競(jìng)爭(zhēng)度小，這是很多過(guò)濾設(shè)備生產(chǎn)商一塊主要板塊。

應(yīng)用：醫(yī)療，食品，電子，半導(dǎo)體制造，石油化工、太陽(yáng)能、液晶面板制造等行業(yè)。

過(guò)濾器外殼材質(zhì)：二次提純不銹鋼316L不銹鋼或鎳過(guò)濾器外殼，EP表面電子拋光。

高純氣體過(guò)濾器材質(zhì)主要有哪些？

市面高純氣體過(guò)濾器材質(zhì)有：不銹鋼，鎳合金，特氟龍PFA濾膜 ,316L燒結(jié)不銹鋼、燒結(jié)金屬鎳多孔金屬過(guò)濾器、Hastelloy C-22燒結(jié)多孔金屬(哈氏合金)等；

高純氣體過(guò)濾具體參考以下僅供參考

（已咨詢(xún)恒歌科技銷(xiāo)售工程師取得參數(shù)為準(zhǔn)）

顆粒過(guò)濾效率: 標(biāo)稱(chēng)流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699測(cè)試規(guī)范，0.08μm MPPS(最容易穿透點(diǎn)顆粒尺寸)過(guò)濾效率確認(rèn))

顆粒過(guò)濾尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)

最大工作壓力: 3750 psig (258.5 barg)

最高使用溫度: 450°C(for Inert Gas)

最大耐受壓差: 1000 psid (68.9 bar)

高純氣體過(guò)濾器多久換一次?

高純氣體過(guò)濾器的更換周期并不是一個(gè)固定的時(shí)間間隔，而是取決于多個(gè)因素，包括過(guò)濾器的類(lèi)型、使用條件、過(guò)濾效率要求以及過(guò)濾器的性能衰減情況等。

半導(dǎo)體超純氣體過(guò)濾中的氦氣泄漏檢測(cè)

超純氣體，如氫氣、氮?dú)狻⒀鯕獾龋瑥V泛用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中，從晶圓制備到蝕刻、清洗等工藝環(huán)節(jié)，超純氣體的純凈度直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量與性能，氦氣作為一種標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)氣體，因此氦氣泄漏檢測(cè)非常重要。

氦氣泄漏檢測(cè)可用于驗(yàn)證超純氣體過(guò)濾器的密封性和泄漏率，在過(guò)濾器使用前，確保其不泄漏，能夠有效阻擋微小顆粒物或雜質(zhì)的進(jìn)入，從而保護(hù)產(chǎn)品的質(zhì)量。

當(dāng)前，按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行的檢測(cè)中，氦氣泄漏檢測(cè)已成為確保設(shè)備和組件符合高純度氣體供應(yīng)要求的必要手段，使用氦氣泄漏檢測(cè)，過(guò)濾企業(yè)可以保證其產(chǎn)品符合嚴(yán)格的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

高純度氣體如何凈化?

高純度氣體的凈化方法主要有：吸附、吸收法、膜分離法、離子交換法等。

1、吸附凈化：

利用多孔性固體吸附劑將氣體中的雜質(zhì)吸附到其表面而達(dá)到凈化的目的。常用的固體有活性碳和硅膠兩種，其中活性碳是應(yīng)用較多的一種材料;另外還有活性炭纖維、沸石分子篩等材料也被應(yīng)用于此領(lǐng)域。

2、吸收凈化：

利用液體吸收液體的方式去除廢氣中的有害成分的方法稱(chēng)吸收凈化方法(簡(jiǎn)稱(chēng)吸脫附)。常用的液體有氨水、氫氧化鈉溶液等堿液以及次氯酸鈉溶液等酸液，它們都是良好的吸收劑，但它們的濃度應(yīng)適當(dāng)并控制好使用條件才能效果良好。

3、膜分離技術(shù)：

膜分離是利用半滲透膜的截留作用使溶劑從被污染的物質(zhì)中轉(zhuǎn)移出去的過(guò)程。它具有高效、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用在各種化工過(guò)程及環(huán)保工程中。

(1)微濾器又稱(chēng)精密過(guò)濾器和超濾器;

(2)納污量小;

(3)操作壓力低;

(4)可在線再生;

(5)能耗較低;

(6)無(wú)相變;

(7)耐腐蝕性能好;

(8)使用壽命較長(zhǎng);

(9)占地面積小;

(10)自動(dòng)化程度高等優(yōu)點(diǎn);

(11)適用于各種懸浮液的固液萃取和除雜;

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