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守護精密儀器的 “隱形屏障”:恒歌 MF 系列微電子半導體過濾器!

作者:燒結過濾器專家 發布時間:2025-07-26 05:57:07人氣: 來源:金屬燒結過濾器廠家

半導體制造中的 MFC(質量流量控制器)、精密閥門等設備,堪稱 “嬌貴的核心”—— 一旦被微粒侵襲,可能出現流量控制偏差、閥門卡滯等問題,直接影響工藝穩定性。恒歌 MF 系列儀器保護專用過濾器,就像一道 “隱形屏障”,為這些精密設備筑起防污防線。

MF 系列的設計核心是 “針對性防護”。它專為半導體氣體分配系統設計,兼容 114”、3/8” 及 1/2”VCR 標準墊圈接口,可直接對接 MFC 模塊、穩壓設備的入口端,攔截氣體中可能存在的微粒。其過濾精度雖未明確標注,但實際攔截能力可滿足精密儀器對 “無微粒干擾” 的需求,避免因微粒進入導致的設備磨損或功能失效。

安裝便捷性是其一大優勢。采用墊片式安裝設計,無需切割或焊接管道,直接在現有配管上加裝即可 —— 這意味著安裝時不會影響原有系統的密封性,也無需長時間停機。同時,它提供低壓型和高壓型可選,無論是常規氣體輸送還是高壓支路,都能找到適配型號。

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在極端環境下,MF 系列的可靠性更加凸顯。它可在高達 400℃的環境中穩定工作,即便是在高溫工藝氣體輸送場景(如薄膜沉積環節),也能保持結構穩定;全金屬材質則避免了高溫下的材質老化問題。這種穩定性直接延長了下游設備的使用壽命 —— 據測算,加裝 MF 系列的 MFC,平均維護周期可延長 3 倍以上。

對半導體工廠而言,MF 系列的價值不僅是 “過濾微粒”,更是 “降低設備故障率” 的經濟選擇:它用相對較低的成本,避免了因精密設備故障導致的高額維修費用和生產停滯損失。


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